橡膠冷卻管

工廠實拍圖

產品特性

1. 耐化學性
能耐受腐蝕性冷卻劑和半導體製程化學品。

2. 高精度
維持尺寸穩定性，實現無洩漏、精確的流體輸送。

3. 熱耐受性
可在半導體生產環境的寬溫度範圍內高效運作。

冷卻液相容性

推薦的兼容冷卻液：

· 去離子水，電阻率≥1 MΩ·cm（最高可達10 MΩ·cm）— EPDM/矽膠

· 乙二醇/水混合物（EG/W，體積比 25%–50%）— 三元乙丙橡膠

· 丙二醇/水混合物（PG/W，體積比 25%–50%）— 三元乙丙橡膠

·含緩蝕劑的去離子水（不含亞硝酸鹽，適用於閉迴路系統）— EPDM

· 合成導熱油（用於高溫冷卻）－僅限氟橡膠 (FKM)

· 吹掃的惰性氣體（乾燥氮氣、氬氣）－所有等級

不建議直接接觸：

·強酸或強鹼（請使用專用化學品輸送管）

· 含有酮、酯或芳香烴的有機溶劑

· 礦物油/液壓油（EPDM 和矽橡膠不耐油；如果接觸油，請指定使用 FKM）

· DI迴路下游的銅或鍍鋅零件（離子浸出風險）

流體溫度範圍（以橡膠化合物劃分）

註：EPDM/矽橡膠管適用於製程冷卻水（去離子水≥1 MΩ·cm）。超純水（UPW）迴路（≥18 MΩ·cm），請改用PFA內襯軟管。在上游安裝0.2 µm顆粒過濾器，並避免使用鍍銅或鍍鋅零件，因為這些零件會析出離子並降低電阻率。

壓力/洩漏測試

每套管路組件在出廠前都要經過工廠壓力和洩漏測試。

水壓試驗：

· 測試介質：室溫下的清水

· 測試壓力：1.5 × 最大額定工作壓力

· 保持時間：5分鐘

· 驗收標準：無視覺變形、無滲透壓、壓力下降不超過±2%

氣動洩漏測試（可選，根據客戶要求）：

測試介質：乾燥氮氣或無塵乾燥空氣

· 測試壓力：1.0 MPa (150 psi) 或 1.05 × 設計壓力

· 浸沒法：浸入水浴中，觀察15-30分鐘

· 驗收：任何接頭或壓接處均無持續氣泡流出

爆破壓力測試（抽取批次樣品，非每件產品）：

測試方法：以 2 巴/5 秒的速度逐漸增加壓力直至爆裂

· 最小爆破壓力：≥ 3 × 額定工作壓力（橡膠軟管的標準；可依要求提供更高比例）

例如：工作壓力 1.0 MPa → 最小爆破壓力 ≥ 3.0 MPa

壓力循環測試（資格認證，可選）：

· 額定壓力的 0 至 1.5 倍之間循環 100,000 至 500,000 次

· 23℃的水或高溫導熱油

· 驗收：完工後無外部洩漏

·可依要求提供較高的循環次數

氦質譜洩漏測試（高純度版本，可選）：

· 標準高純度等級：接頭端​​ ≤ 1 × 10⁻⁶ mbar·L/s

注意：橡膠管本身俱有氣體滲透性；超嚴密的洩漏率要求適用於接頭連接處，而非軟管本體。如需對整個組件提出更嚴格的要求，需進行工程評估。

工作壓力降額

應用

優勢

1. 最大程度減少振動對精密半導體零件的影響。

2. 採用堅固耐用的橡膠材質，延長設備使用壽命。

3. 確保持續冷卻，提高半導體生產良率和可靠性。

研發中心 - 實驗室